产品描述
UNI-NAP 1精抛垫–FP系列:
它是一种较为坚固的、多孔聚合物,具有相当高的孔壁硬度,可成功地用于对滤光模和特殊玻璃、硅片以及砷化镓半导体片进行抛光,其厚度为0.05”(1.25mm),具有相当长的使用寿命,极佳的耐磨性和极好的表面平整度。抗PH值达11,以码为单位的物品和各种盘规格,可以带背胶和其它常用要求。
主要应用:
• CMP终道抛光
• 硅片、砷化镓终道抛光
• 光掩膜
• 镀镍的和玻璃磁盘
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